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三星7nm LPP工艺来了,全球首发EUV光刻工艺

2018-06-15 08:24:44 | 来源:超能网 | 作者:孟宪瑞
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7nm节点上高通会转投回台积电,三星要想拉拢到更多的客户,只能从工艺技术上着手了。这也是三星为什么跳过非EUV工艺的7nm工艺,直接上7nm LPP EUV工艺的原因,如今他们的7nm LPP工艺已经完成了Synopsys的物理认证,意味着7nm EUV工艺全球首发了

这两年为三星半导体业务立功最大的是存储芯片部门,贡献的营收、利润达到七八成,而三星的晶圆代工业务虽然有高通这样的VIP客户,但在7nm节点上高通会转投回台积电,三星要想拉拢到更多的客户,只能从工艺技术上着手了。这也是三星为什么跳过非EUV工艺的7nm工艺,直接上7nm LPP EUV工艺的原因,如今他们的7nm LPP工艺已经完成了Synopsys的物理认证,意味着7nm EUV工艺全球首发了。

在几大半导体公司中,英特尔的10nm还没搞定,7nm就更遥远了,台积电的7nm工艺(N7工艺)量产比较顺利,会有苹果、海思、高通、NVIDIA、AMD等客户陆续流片、量产,不过台积电的第一代7nm工艺还是传统的多重曝光工艺,2019年的N7 Plus工艺才会使用EUV光刻工艺。

Globalfoundries这边也是类似的路线,今年量产的7nm DUV还是传统的深紫外光刻工艺,此前号称频率可达5GHz,AMD的7nm Zen 2处理器会使用Globalfoundries的7nm工艺,明年初问世,2020年的再下一代才是7nm EUV工艺。

三星在EUV工艺上市最激进的,直接跳过了第一代非EUV光刻的7nm工艺,根据之前的路线图,三星第一个使用EUV工艺的就是7nm LPP工艺,预定今年下半年量产。日前Synopsys与三星联合宣布已经使用后者的7nm LPP工艺完成了IC验证器的认证工作。

这次认证完成之后,三星的7nm LPP工艺可以立即提供认证的运行库,包括DRC设计规则检查、LVS布局与原理图、金属填充技术文件等等,这也意味着三星的7nm LPP工艺走入了正轨。

根据之前的消息,ASML的EUV光刻机中,台积电订购了大约10台,三星订购了大约6台,英特尔订购了3台,Globalfoundries的EUV订单数量不详,国内的中芯国际也订购了1台EUV光刻机用于7nm工艺研究,明年初交货。

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